1g/h产量实验室臭氧发生器现场
应用背景：
某高校材料科学实验室致力于开发高性能材料，需要在其科研级ALD设备上沉积高质量、均匀的Al₂O₃栅介质薄膜。该工艺对前驱体（TMA）与反应气体（臭氧）的精确配比和稳定性要求极高，臭氧的浓度、纯度及流量直接影响薄膜的致密性、生长速率和电学性能。
解决方案：
采用北京同林M1000高精度臭氧发生器。该设备以其1-110 mg/L的宽范围、10档精密可调功能，完美匹配工艺摸索阶段对参数精细化的需求。研究人员可精准重复任何特定浓度（如85 mg/L），确保了实验数据的高度重复性与可比性。
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