半导体企业定制高浓度臭氧发生检测系统
3S-B20臭氧输送系统,配置Apex H30 高浓度臭氧发生器,双光路紫外臭氧在线检测仪,质量流量计,泄露报警器等,独特的风冷设计,体积小、浓度高、稳定性好,是半导体ALD PLD CVD ALE MBE 等应用的不二选择。
半导体企业定制高浓度臭氧发生检测系统
3S-B20臭氧输送系统,配置Apex H30 高浓度臭氧发生器,双光路紫外臭氧在线检测仪,质量流量计,泄露报警器等,独特的风冷设计,体积小、浓度高、稳定性好,是半导体ALD PLD CVD ALE MBE 等应用的不二选择。